第二百五十八章 光刻机组装计划
看完这封信，林晓心中微微感慨。
从字里行间中，他都能看出这位老人的激动。
当然对于这样的老航空人来说，歼二零能够取得如今这么巨大的进步，他们也确实应该如此激动。
ta1000的性能之强，在所有涡轮扇叶的材料中，当然算得上是世界最强，不然的话，也不至于让歼二零飞的这么快。
ta1000的耐热性能越强，对于推力的提升就越大，毕竟涡前温度每提高100摄氏度，推力就能提高10%-25%，而涡轮扇叶作为承受这个温度的关键材料，ta1000毫无疑问是极强的。
对此，林晓作为ta1000研发人，心中十分的清楚。
由于之前在国家科学技术奖励大会上，顾诵院士悄悄给他说的那句话，所以他这几天也一直关注着歼二零大出风头的事情。
见到歼二零如此强悍的表现，也让他感到当初花去的那些真理点是值得的。
而后他将这封信放在了一边，然后又打开了另外一封信件。
这封信件，是本地信件，也就是从上京寄来的。
寄件人林晓就不认识了。
不过，当他拆开信封看了一眼后，就不由感到惊讶，这居然是一位空军将领给他发来的感谢信。
这位将领的文字倒是显得干净利落。
【林晓教授，非常感谢你的工作，但由于不方便见面，所以我也只能写一封信向你表示感谢。
等到海晏河清，山河太平，我再当面向你感谢，当然，也许我也看不到这天了，不过我退休之后还是可以的。
哈哈哈……】
看完这封信，林晓再次一笑。
海晏河清？
他相信会有这样一天的。
而他也正在为这件事情努力着。
将这两封信放在了一旁，他重新将目光投向眼前的屏幕。
只见屏幕上，显示着一个由无数颗代表了原子的球体连接而成的晶体结构。
这些原子的结构十分奇特，但是如果一看的话，却也会发现其中的规律，如果从其某一个晶面来看的话，就会发现它每一个晶面的原子都是错位的。
而这就是林晓研究了这么久之后，经过缜密的计算后，得出来的一个能够放大和缩小x光的晶体结构。
当然，这只是他计算出来的结果，现在还需要通过模拟来确定其实际效果如何。
“嗯，现在该进行模拟了。”
从软件中找到了代表x光的选项，然后便开始设置x光的照射方向和角度，以及波长。
根据他之前的计算，能够更好地发挥衍射作用，x光的波长不能太小了，不然的话，波长太小的x光，穿透性能也更强，想要控制其衍射，就更难了。
所以，x光的波长应当为3.56nm。
而这是利用衍射效应，所以不能像euv光那样垂直照射，而是需要一个角度，也正是需要利用控制x光的入射角度，来控制x光的放大和缩小。
“唔，那就从30度入射角开始吧。”
输入了几个数据后，眼前的三维坐标系上便出现了一道代表了x光的粗虚线，这条粗虚线直直地照进了眼前的晶体结构当中，随后，x光便开始在其中开始了衍射的过程，粗的虚线在衍射的过程中，被分解为了几道虚线，然后又不断地在里面穿透，直到最后，穿透了这个晶体，最后形成了一个更大的照射面。
看到这一幕，林晓微微一笑。
不错，就和计算中的一样。
当入射角小于57.5度的时候，x光就能够被放大，而入射角大于这个角度的时候，x光就会被缩小。
这个放大和缩小并不是指将光线的波长放大和缩小，而是将x光束的辐照范围给放大和缩小，就像是在太阳光底下拿着放大镜聚焦或者扩散一样，这是一个道理。
通过这种方式，x光就拥有了规模生产的能力。
随后，他继续测试，通过调整晶体结构来改变入射角度，进而实现对x光的放大和缩小。
经过多次测试，已经可以毫无疑问地确定，这个晶体结构，达到了他所需要的程度。
那么，现在的问题就来了，要怎么生产出这样的晶体！
这个晶体的元素他早就已经选好了，仍然是硅。
硅的最外层电子数为4，这就意味着其可塑性十分强，虽然它做不到像碳那样，能够形成多种多样的同素异形体，但是通过工艺的设计，并非不能达到这样的程度，在凝聚态和材料学中，就有一个概念叫做无定形，无定形硅不存在晶体硅那样延展开的晶格结构，其原子间的晶格网络呈无序排列，利用这个原理，再根据特殊的工艺设计，就能够达到林晓想要的这个结构。
而至于为什么不选碳，则是因为碳原子太小，即使是选择10nm的x光，都可能轻松地穿过其合成的透镜，所以硅就成为了最合适的。
而就现在地结果来看，他们成功了。
“嗯，看来接下来的一段时间里，又要经常性的泡实验室了啊。”
心中微微感慨一声，看了一眼旁边依然在睡觉，从来不知道工作为何物的咪咪，林晓不由伸出手揉了揉它。
“你这修猫，真懒。”
咪咪被他揉醒，“喵”了一声，稍稍抬起脑袋瞥了一眼林晓，而后在他的手掌上蹭了蹭，然后翻了个身子，露出了毛茸茸的肚子。
林晓呵呵一笑，余光却又瞥见旁边那封来自空军将领的信。
环海未晏，内河未清，仍需努力啊。
目光一定，他拿出了手机，打去了电话：“赵升，前几天我们搭建完成的新模型，这几天经过我的完善，达到了我们的要求，根据模拟程序运算，它能够达到我们的要求！”
赵升，就是他当初挖来的一位国内计算材料学大牛，本身是青华大学材料系的教授。
话说回来，他从京大和青华挖了不少人，也不知道人家会不会生气。
嗯，这件事情以后再说，生不生气什么的，他就不管了。
而这时，电话里面也响起了赵升惊喜的声音：“林教授，咱们成功了？”
“是的。”林晓笑道：“所以，今天下午三点，叫上所有人开个会，开始我们下一个阶段，设计工艺！”
“好！”
赵升立马兴奋地说道。
挂了电话，林晓并没有立马就走。
“晶体结构已有，x光源也有，双工作台那边还在开发，不过因为有了新编码器，进度也正在加快。”
“这三个最关键的东西，都已经能够看到成功的曙光了。”
“至于剩下的其他部件，国内技术基本都不缺。”
光刻机最关键的技术就是光源系统、光路也即透镜系统，以及双工作台系统，因为这三个，是整个光刻机需要动起来，并且动的最精密的结构。
而其他的部件，华国完全有能力去生产，即使是采购国外的，也不会有制裁问题，因为其他部件的技术艰深程度并不高，要是连这些都生产不了的话，那干脆摆烂好了。
而这么一算，也就意味着——
“开始生产各部位零件，准备组装光刻机的计划，也应该正式开始了。”
林晓的目光中微微闪烁，虽然还有一部分技术需要攻克，但是组装光刻机也需要很长的时间，阿斯麦尔一年才只能造几十台光刻机，就是因为光刻机哪怕是组装起来，都十分考验精细程度，毕竟慢工出细活，到时候哪怕是一个螺丝的安装，都需要慢慢来。
林晓显然不可能等到所有技术都攻克之后，才开始慢慢进行组装。
而且，在华国里，他也应该好好发挥这种一盘棋的优势。
就像是华芯盟，也是他凭借着这样的优势建立起来的。
所以，现在也该让国内的厂商们准备一下，开始组装光刻机了。
当然，这件事情也需要上面的配合，才方便他调动各方资源。
看来，得写一封内参了。
心中如此一想，他立马从旁边找来了一张纸。
他也得写上一封信了。
至于该写什么，其实也很简单。
【制造光刻机的技术攻破工作，已经到了最后关头，现在，组装光刻机的计划可以开始了，恳请领导研究批准。】
写完，他下楼买了一个信封，将其装了起来，随后给马局长打去了一个电话：“马局长，有件事情需要拜托你。”
那边立马传来了马局长兴奋的声音：“好啊！你说就是！是不是要老地方见？”
林晓一愣，怎么马局长这么高兴？
不过他也没有在意，笑着说道：“没有没有，就是我写了一封信，当然，事情也比较重要，我希望你能够转交给上面。”
“信？行！”马局长立马说道。
虽然不是老地方见面，但是他相信，只要是林晓找他帮忙，肯定都是好事情。
他现在已经十分有经验了。
更何况，林晓都和他说重要了，而且还要转交给上面。
那就更加肯定有天大的好事情嘛！
他对此十分的相信。
于是两人约好了时间，便挂了电话。
而林晓也收拾了一下东西，前往了研究所，准备开会。
－－－－－－题外话－－－－－－
审核偷偷的给我搞屏蔽了……
从字里行间中，他都能看出这位老人的激动。
当然对于这样的老航空人来说，歼二零能够取得如今这么巨大的进步，他们也确实应该如此激动。
ta1000的性能之强，在所有涡轮扇叶的材料中，当然算得上是世界最强，不然的话，也不至于让歼二零飞的这么快。
ta1000的耐热性能越强，对于推力的提升就越大，毕竟涡前温度每提高100摄氏度，推力就能提高10%-25%，而涡轮扇叶作为承受这个温度的关键材料，ta1000毫无疑问是极强的。
对此，林晓作为ta1000研发人，心中十分的清楚。
由于之前在国家科学技术奖励大会上，顾诵院士悄悄给他说的那句话，所以他这几天也一直关注着歼二零大出风头的事情。
见到歼二零如此强悍的表现，也让他感到当初花去的那些真理点是值得的。
而后他将这封信放在了一边，然后又打开了另外一封信件。
这封信件，是本地信件，也就是从上京寄来的。
寄件人林晓就不认识了。
不过，当他拆开信封看了一眼后，就不由感到惊讶，这居然是一位空军将领给他发来的感谢信。
这位将领的文字倒是显得干净利落。
【林晓教授，非常感谢你的工作，但由于不方便见面，所以我也只能写一封信向你表示感谢。
等到海晏河清，山河太平，我再当面向你感谢，当然，也许我也看不到这天了，不过我退休之后还是可以的。
哈哈哈……】
看完这封信，林晓再次一笑。
海晏河清？
他相信会有这样一天的。
而他也正在为这件事情努力着。
将这两封信放在了一旁，他重新将目光投向眼前的屏幕。
只见屏幕上，显示着一个由无数颗代表了原子的球体连接而成的晶体结构。
这些原子的结构十分奇特，但是如果一看的话，却也会发现其中的规律，如果从其某一个晶面来看的话，就会发现它每一个晶面的原子都是错位的。
而这就是林晓研究了这么久之后，经过缜密的计算后，得出来的一个能够放大和缩小x光的晶体结构。
当然，这只是他计算出来的结果，现在还需要通过模拟来确定其实际效果如何。
“嗯，现在该进行模拟了。”
从软件中找到了代表x光的选项，然后便开始设置x光的照射方向和角度，以及波长。
根据他之前的计算，能够更好地发挥衍射作用，x光的波长不能太小了，不然的话，波长太小的x光，穿透性能也更强，想要控制其衍射，就更难了。
所以，x光的波长应当为3.56nm。
而这是利用衍射效应，所以不能像euv光那样垂直照射，而是需要一个角度，也正是需要利用控制x光的入射角度，来控制x光的放大和缩小。
“唔，那就从30度入射角开始吧。”
输入了几个数据后，眼前的三维坐标系上便出现了一道代表了x光的粗虚线，这条粗虚线直直地照进了眼前的晶体结构当中，随后，x光便开始在其中开始了衍射的过程，粗的虚线在衍射的过程中，被分解为了几道虚线，然后又不断地在里面穿透，直到最后，穿透了这个晶体，最后形成了一个更大的照射面。
看到这一幕，林晓微微一笑。
不错，就和计算中的一样。
当入射角小于57.5度的时候，x光就能够被放大，而入射角大于这个角度的时候，x光就会被缩小。
这个放大和缩小并不是指将光线的波长放大和缩小，而是将x光束的辐照范围给放大和缩小，就像是在太阳光底下拿着放大镜聚焦或者扩散一样，这是一个道理。
通过这种方式，x光就拥有了规模生产的能力。
随后，他继续测试，通过调整晶体结构来改变入射角度，进而实现对x光的放大和缩小。
经过多次测试，已经可以毫无疑问地确定，这个晶体结构，达到了他所需要的程度。
那么，现在的问题就来了，要怎么生产出这样的晶体！
这个晶体的元素他早就已经选好了，仍然是硅。
硅的最外层电子数为4，这就意味着其可塑性十分强，虽然它做不到像碳那样，能够形成多种多样的同素异形体，但是通过工艺的设计，并非不能达到这样的程度，在凝聚态和材料学中，就有一个概念叫做无定形，无定形硅不存在晶体硅那样延展开的晶格结构，其原子间的晶格网络呈无序排列，利用这个原理，再根据特殊的工艺设计，就能够达到林晓想要的这个结构。
而至于为什么不选碳，则是因为碳原子太小，即使是选择10nm的x光，都可能轻松地穿过其合成的透镜，所以硅就成为了最合适的。
而就现在地结果来看，他们成功了。
“嗯，看来接下来的一段时间里，又要经常性的泡实验室了啊。”
心中微微感慨一声，看了一眼旁边依然在睡觉，从来不知道工作为何物的咪咪，林晓不由伸出手揉了揉它。
“你这修猫，真懒。”
咪咪被他揉醒，“喵”了一声，稍稍抬起脑袋瞥了一眼林晓，而后在他的手掌上蹭了蹭，然后翻了个身子，露出了毛茸茸的肚子。
林晓呵呵一笑，余光却又瞥见旁边那封来自空军将领的信。
环海未晏，内河未清，仍需努力啊。
目光一定，他拿出了手机，打去了电话：“赵升，前几天我们搭建完成的新模型，这几天经过我的完善，达到了我们的要求，根据模拟程序运算，它能够达到我们的要求！”
赵升，就是他当初挖来的一位国内计算材料学大牛，本身是青华大学材料系的教授。
话说回来，他从京大和青华挖了不少人，也不知道人家会不会生气。
嗯，这件事情以后再说，生不生气什么的，他就不管了。
而这时，电话里面也响起了赵升惊喜的声音：“林教授，咱们成功了？”
“是的。”林晓笑道：“所以，今天下午三点，叫上所有人开个会，开始我们下一个阶段，设计工艺！”
“好！”
赵升立马兴奋地说道。
挂了电话，林晓并没有立马就走。
“晶体结构已有，x光源也有，双工作台那边还在开发，不过因为有了新编码器，进度也正在加快。”
“这三个最关键的东西，都已经能够看到成功的曙光了。”
“至于剩下的其他部件，国内技术基本都不缺。”
光刻机最关键的技术就是光源系统、光路也即透镜系统，以及双工作台系统，因为这三个，是整个光刻机需要动起来，并且动的最精密的结构。
而其他的部件，华国完全有能力去生产，即使是采购国外的，也不会有制裁问题，因为其他部件的技术艰深程度并不高，要是连这些都生产不了的话，那干脆摆烂好了。
而这么一算，也就意味着——
“开始生产各部位零件，准备组装光刻机的计划，也应该正式开始了。”
林晓的目光中微微闪烁，虽然还有一部分技术需要攻克，但是组装光刻机也需要很长的时间，阿斯麦尔一年才只能造几十台光刻机，就是因为光刻机哪怕是组装起来，都十分考验精细程度，毕竟慢工出细活，到时候哪怕是一个螺丝的安装，都需要慢慢来。
林晓显然不可能等到所有技术都攻克之后，才开始慢慢进行组装。
而且，在华国里，他也应该好好发挥这种一盘棋的优势。
就像是华芯盟，也是他凭借着这样的优势建立起来的。
所以，现在也该让国内的厂商们准备一下，开始组装光刻机了。
当然，这件事情也需要上面的配合，才方便他调动各方资源。
看来，得写一封内参了。
心中如此一想，他立马从旁边找来了一张纸。
他也得写上一封信了。
至于该写什么，其实也很简单。
【制造光刻机的技术攻破工作，已经到了最后关头，现在，组装光刻机的计划可以开始了，恳请领导研究批准。】
写完，他下楼买了一个信封，将其装了起来，随后给马局长打去了一个电话：“马局长，有件事情需要拜托你。”
那边立马传来了马局长兴奋的声音：“好啊！你说就是！是不是要老地方见？”
林晓一愣，怎么马局长这么高兴？
不过他也没有在意，笑着说道：“没有没有，就是我写了一封信，当然，事情也比较重要，我希望你能够转交给上面。”
“信？行！”马局长立马说道。
虽然不是老地方见面，但是他相信，只要是林晓找他帮忙，肯定都是好事情。
他现在已经十分有经验了。
更何况，林晓都和他说重要了，而且还要转交给上面。
那就更加肯定有天大的好事情嘛！
他对此十分的相信。
于是两人约好了时间，便挂了电话。
而林晓也收拾了一下东西，前往了研究所，准备开会。
－－－－－－题外话－－－－－－
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