第九十一章 深硅刻蚀工艺
“哦？都有哪些传感器？”
孙厂长坐直了身体。
“到目前为止，思路已经成熟的，除了上次展示过的加速度传感器，简单一些的压力传感器，水平传感器，还有飞机上会用到的高度传感器，空速传感器......”
陈泉在黑板上，连续写下了一长串的名字。
既然明白了“他”做的东西，都是传感器，再去寻找那二十多个实验的目的，就容易了很多。虽然有些非常复杂的结构，陈泉还是摸不清头绪，但其中不少结构，每个实际可以有多种用途。
更不提，“他”提供了好几种通用结构。
所以，有些传感器，是原来“他”实验里包括的，但也有不少，是陈泉跟赵薇薇讨论后，自行扩展出来的。原理搞清楚了，可以很容易的举一反三。
“还有一个结构比较复杂的陀螺仪。这个可以作为我们第一期作品的收官之作。”
“陀螺仪？陀螺仪也能用mems技术加工出来吗？”
刘院长身边的中年人，站了起来。
陀螺仪在很多场合，都是核心传感器。
“您是？”
孙厂长回头询问。
“我是跟老刘一起来的，你们叫我王工就好了。”中年人没有透露姓名，其他人互相看了一眼，也就不问了。
“你还没有回答我的问题呢？小伙子！”
“哦。当然能了。由于陀螺仪的造型过于复杂，我还特意带来了它的模型。”
陈泉一摆手，曲燕秋就托着一套，由纸壳做的简陋样品，走上讲台。
-------
微电子实验室。
“你的手抖什么抖啊？这块晶圆片算是废了！”
张栋被气得浑身发抖。“你知道，这块晶圆片值多少钱吗？加上刚才消耗的各种药水，制剂，一百元！让你一抖，就这么没了！”
“没有全废吧。那一半不是还能用吗？”
自知犯了大错的成兴，试图分辨。
1989年的冰城，学生生活费，50元一个月能吃饱，100元，绝对能吃好。
“哦，天啊！我真是受够了。”
张栋的耐心彻底没了。“这是谁出的馊主意！让这些连课都没上过的新生，做半导体实验？”
“老张，有点耐心。”
在旁边工作台做实验的科研人员，边操作，边劝解。“你不能期望所有人都跟陈泉一样，一看就会，一听就懂的。”
“老师，让我们两个人一组吧。这次我们小心点。”
云丽上前一步。
有了台阶下，张栋的态度好了一点。“行，你跟成兴一组，于耀赢跟李季一组。剩下的冯言，自己一组。”
被训得满脸通红的成兴，感激的看了一眼，身边不起眼的同班女生。
在mems小组内，人虽然不多，但隐隐分成了几派。
于耀赢，李季，都是陈泉和曲燕秋的嫡系，而冯言，干脆是陈泉二人的干姐姐，前些天发表的中文综述，还捞到了署名，心态都比较好。
而云丽和成兴，被拉入小组，完全不知道背后的原因，比较忐忑，做事情也有些畏首畏尾。
由于相似的处境，两个人最近有点抱团取暖的意思。
----------
会议室。
看到样品，感兴趣的客人，纷纷离开座位，围了过去。
“这不对吧。”
王工上上下下，里里外外的把样品看个通透。
“什么不对？”
冰飞的周总工，就在他的身边。
“这种结构，以现在的mems工艺，根本加工不出来吧。”
王工把模型举了起来，抬高到跟视线平齐。“我记得，mems所采用的牺牲层工艺，根本加工不出如此的高深宽比、高垂直度。”
牺牲层技术（工艺），1985年才被引入到半导体加工领域，“表面”微机械加工概念由此产生。之所以，1988年，震惊世界的微静电马达能够问世，就是拜牺牲层技术所赐。
王工的专业性评价，大多数人没有听懂，但并不妨碍大家把目光投向陈泉，等待解释。
“是的。这个陀螺仪，我不准备只采用牺牲层工艺。”
陈泉没有丝毫慌乱。
记忆里，陀螺仪采用的加工工艺，的确发生了变化。
之所以，陈泉要抛出新论文，也跟加速度传感器论文，被《applied physics letters，应用物理快报》采用有些关系。
应用物理快报，在半导体工艺系列里，算是与mems有关联的期刊里，最好的一波期刊了。其sci影响因子超过了4。
（真正的mems专业期刊，还没有面世。）
按理，论文被确定采纳，是件大好事，但陈泉和曲燕秋有点坐不住了。因为不论是他还是她，都没有任何感觉。
前两次的过关，陈泉和曲燕秋，都能明显看到，或者感到一些不同。
例如第一次过关，曲燕秋被实质激活，第二次，干脆苏醒。可现在，没有消息，就是最坏的消息。
所以两个人，不得不继续拔高心理目标，把论文的层次，再推高一个档次。
这次的目标，盯叮住了cns（cell， science， nature），这三本顶级超一流期刊，一次就给他搞到位。
这种超一流期刊论文，在80年代末，不用多，只要有一篇，在国内，就可以开宗立派，直接成立专属实验室，乃至新的专业。
这个陀螺仪，以及它后面的工艺论文，就是陈泉和曲燕秋两个人，精心选出来的目标。
.....
“不是牺牲层工艺？还有别的工艺吗？我怎么没有听说？”
王工眯起眼睛，重新打量起眼前的，年轻得不像话的青年。
“嗯，姑且算是我的发明吧。这次想申请的专利，就有它一个。”
国际专利申请的初期，花钱不算太多，交800到一千美元的报名费，就可以有12到18个月的独占期。没有这个时间差，mems项目组，支付不起加速度传感器的专利申请。
“这个工艺叫什么名字？”
“嗯，叫.....”
陈泉挠了挠头。
所有的记忆，都是图像记忆，名字什么的，从来都是没有。
“我还没有给它起名呢。要不就叫深硅刻蚀工艺吧。”
陈泉按照直觉印象，随口起了个名字。名字说出口后，感觉还不错。
“深硅刻蚀工艺？那是什么东西？”
王工满脸迷惑。“能不能给我解释一下，这个工艺是如何实现的？”
“能倒是能，不过这可就是真正的核心技术了.....”
陈泉十分为难，看向四周，满脸的不放心。
“王工，你就别难为.....”
林书强跑过来帮腔。
“哈，小伙子，你小瞧了我。”
王工突然虎躯一震，挺直了身体。“只要你能说服我，可以实现眼前的这套陀螺仪，200万的赞助资金，我们航院出了！”
“你们航院出了？”
陈泉傻眼了。
不仅陈泉傻眼了，其他人也都傻眼了。
黄楚雄傻眼了，赵良材傻眼了，连林书强都傻眼了。
作为校长，他竟然不知道，下面的航院，居然如此有钱了？
航院的刘院长，其实也傻眼了。
航院哪里有什么钱啊！
但他什么都不说，接着看热闹。
......
“我们单独聊聊？”
赵良材最先反映过来。这位王工，作为航院院长的客人，身份已经呼之欲出了。
“好。”
王姓中年人直接出手，把讲台上的模型，搂了下来，揣在怀里。“我们走？”
.....
“等等，等等！等一下！”
在一边看热闹，看得正高兴的孙厂长，站了起来。“我怎么觉得不对劲呢？今天的会议主题，不是让我们冰飞对项目进行审查吗？怎么现在就要散会？”
孙厂长坐直了身体。
“到目前为止，思路已经成熟的，除了上次展示过的加速度传感器，简单一些的压力传感器，水平传感器，还有飞机上会用到的高度传感器，空速传感器......”
陈泉在黑板上，连续写下了一长串的名字。
既然明白了“他”做的东西，都是传感器，再去寻找那二十多个实验的目的，就容易了很多。虽然有些非常复杂的结构，陈泉还是摸不清头绪，但其中不少结构，每个实际可以有多种用途。
更不提，“他”提供了好几种通用结构。
所以，有些传感器，是原来“他”实验里包括的，但也有不少，是陈泉跟赵薇薇讨论后，自行扩展出来的。原理搞清楚了，可以很容易的举一反三。
“还有一个结构比较复杂的陀螺仪。这个可以作为我们第一期作品的收官之作。”
“陀螺仪？陀螺仪也能用mems技术加工出来吗？”
刘院长身边的中年人，站了起来。
陀螺仪在很多场合，都是核心传感器。
“您是？”
孙厂长回头询问。
“我是跟老刘一起来的，你们叫我王工就好了。”中年人没有透露姓名，其他人互相看了一眼，也就不问了。
“你还没有回答我的问题呢？小伙子！”
“哦。当然能了。由于陀螺仪的造型过于复杂，我还特意带来了它的模型。”
陈泉一摆手，曲燕秋就托着一套，由纸壳做的简陋样品，走上讲台。
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微电子实验室。
“你的手抖什么抖啊？这块晶圆片算是废了！”
张栋被气得浑身发抖。“你知道，这块晶圆片值多少钱吗？加上刚才消耗的各种药水，制剂，一百元！让你一抖，就这么没了！”
“没有全废吧。那一半不是还能用吗？”
自知犯了大错的成兴，试图分辨。
1989年的冰城，学生生活费，50元一个月能吃饱，100元，绝对能吃好。
“哦，天啊！我真是受够了。”
张栋的耐心彻底没了。“这是谁出的馊主意！让这些连课都没上过的新生，做半导体实验？”
“老张，有点耐心。”
在旁边工作台做实验的科研人员，边操作，边劝解。“你不能期望所有人都跟陈泉一样，一看就会，一听就懂的。”
“老师，让我们两个人一组吧。这次我们小心点。”
云丽上前一步。
有了台阶下，张栋的态度好了一点。“行，你跟成兴一组，于耀赢跟李季一组。剩下的冯言，自己一组。”
被训得满脸通红的成兴，感激的看了一眼，身边不起眼的同班女生。
在mems小组内，人虽然不多，但隐隐分成了几派。
于耀赢，李季，都是陈泉和曲燕秋的嫡系，而冯言，干脆是陈泉二人的干姐姐，前些天发表的中文综述，还捞到了署名，心态都比较好。
而云丽和成兴，被拉入小组，完全不知道背后的原因，比较忐忑，做事情也有些畏首畏尾。
由于相似的处境，两个人最近有点抱团取暖的意思。
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会议室。
看到样品，感兴趣的客人，纷纷离开座位，围了过去。
“这不对吧。”
王工上上下下，里里外外的把样品看个通透。
“什么不对？”
冰飞的周总工，就在他的身边。
“这种结构，以现在的mems工艺，根本加工不出来吧。”
王工把模型举了起来，抬高到跟视线平齐。“我记得，mems所采用的牺牲层工艺，根本加工不出如此的高深宽比、高垂直度。”
牺牲层技术（工艺），1985年才被引入到半导体加工领域，“表面”微机械加工概念由此产生。之所以，1988年，震惊世界的微静电马达能够问世，就是拜牺牲层技术所赐。
王工的专业性评价，大多数人没有听懂，但并不妨碍大家把目光投向陈泉，等待解释。
“是的。这个陀螺仪，我不准备只采用牺牲层工艺。”
陈泉没有丝毫慌乱。
记忆里，陀螺仪采用的加工工艺，的确发生了变化。
之所以，陈泉要抛出新论文，也跟加速度传感器论文，被《applied physics letters，应用物理快报》采用有些关系。
应用物理快报，在半导体工艺系列里，算是与mems有关联的期刊里，最好的一波期刊了。其sci影响因子超过了4。
（真正的mems专业期刊，还没有面世。）
按理，论文被确定采纳，是件大好事，但陈泉和曲燕秋有点坐不住了。因为不论是他还是她，都没有任何感觉。
前两次的过关，陈泉和曲燕秋，都能明显看到，或者感到一些不同。
例如第一次过关，曲燕秋被实质激活，第二次，干脆苏醒。可现在，没有消息，就是最坏的消息。
所以两个人，不得不继续拔高心理目标，把论文的层次，再推高一个档次。
这次的目标，盯叮住了cns（cell， science， nature），这三本顶级超一流期刊，一次就给他搞到位。
这种超一流期刊论文，在80年代末，不用多，只要有一篇，在国内，就可以开宗立派，直接成立专属实验室，乃至新的专业。
这个陀螺仪，以及它后面的工艺论文，就是陈泉和曲燕秋两个人，精心选出来的目标。
.....
“不是牺牲层工艺？还有别的工艺吗？我怎么没有听说？”
王工眯起眼睛，重新打量起眼前的，年轻得不像话的青年。
“嗯，姑且算是我的发明吧。这次想申请的专利，就有它一个。”
国际专利申请的初期，花钱不算太多，交800到一千美元的报名费，就可以有12到18个月的独占期。没有这个时间差，mems项目组，支付不起加速度传感器的专利申请。
“这个工艺叫什么名字？”
“嗯，叫.....”
陈泉挠了挠头。
所有的记忆，都是图像记忆，名字什么的，从来都是没有。
“我还没有给它起名呢。要不就叫深硅刻蚀工艺吧。”
陈泉按照直觉印象，随口起了个名字。名字说出口后，感觉还不错。
“深硅刻蚀工艺？那是什么东西？”
王工满脸迷惑。“能不能给我解释一下，这个工艺是如何实现的？”
“能倒是能，不过这可就是真正的核心技术了.....”
陈泉十分为难，看向四周，满脸的不放心。
“王工，你就别难为.....”
林书强跑过来帮腔。
“哈，小伙子，你小瞧了我。”
王工突然虎躯一震，挺直了身体。“只要你能说服我，可以实现眼前的这套陀螺仪，200万的赞助资金，我们航院出了！”
“你们航院出了？”
陈泉傻眼了。
不仅陈泉傻眼了，其他人也都傻眼了。
黄楚雄傻眼了，赵良材傻眼了，连林书强都傻眼了。
作为校长，他竟然不知道，下面的航院，居然如此有钱了？
航院的刘院长，其实也傻眼了。
航院哪里有什么钱啊！
但他什么都不说，接着看热闹。
......
“我们单独聊聊？”
赵良材最先反映过来。这位王工，作为航院院长的客人，身份已经呼之欲出了。
“好。”
王姓中年人直接出手，把讲台上的模型，搂了下来，揣在怀里。“我们走？”
.....
“等等，等等！等一下！”
在一边看热闹，看得正高兴的孙厂长，站了起来。“我怎么觉得不对劲呢？今天的会议主题，不是让我们冰飞对项目进行审查吗？怎么现在就要散会？”